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国家级实验教学示范中心»大型仪器
扫描电子显微镜
发布时间:2017-12-04
 型号:HITACHI-SU8010

制造商:日本日立公司

房间号:126

仪器负责人:李会峰

 

主要技术指标

1. 分辨率:

    1.0nm (15kV,工作距离4mm)

    2.0nm (1kV,普通模式)

    1.3nm (1KV,入射电子减速功能)

2. 加速电压:0.1 ~ 30kV 

3. 放大倍率: 20 800k

4. 多种工作模式:高分辨、大束流强度、磁性样品工作模式、长工作距离模式

5. 物镜光阑: 4孔可调式,内置加热自清洁装置

6. 样品台驱动: 3轴马达驱动,移动范围:X0~50mmY0~50mmZ1.5~30mmT-5~70°R360,最大样品尺寸:100mm

7. 通过预抽室交换样品,预抽室端面透明,可观察到样品交换过程

8. 具有高位和低位二次电子探测器,高位探头安装在物镜上方,避免影响物镜成像,EXB系统,可接收二次电子像和背散射电子像,并以任意比例混合

9. 扫描模式:TV扫描(扫描速度不低于25/)

快扫描 慢扫描 全屏模式下14204080/桢,可选

10. 图像储存:640×4801280×9602560×19205120×3480像素

11 捕捉的图片可存储在临时图片栏内,可选择单张存储或批量存储,可自动连续命名

12. 电子图像移动:±12μm (WD=8mm)

 

应用范围

扫描电子显微镜(scanning electron microscope)。是一种利用电子束扫描样品表面从而获得样品信息的电子显微镜。它能产生样品表面的高分辨率图像,且图像呈三维。日立SU8010,具有优秀的低加速电压成像能力,1kv分辨率可达1.3nm;具有日立专利的ExB设计,不需喷镀,可以直接观测不导电样品的优点。广泛用于化学科学、材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件等。